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SSD 光照射除电装置 ISX-224

产品特点:

  • 对于一般大气中晶圆(wafer)等带电电位衰減至1/10,1S以內的短时间內除电。
  • 与瓦斯的流动狀态无关,可获得安定的除电性能。由于被光照射到的空间內广范围地將瓦子化,因此,即使除电对象物附近存在不穩定的气流,也不影响除电性能。
  • 平常完全不须维护,仅需依软X线管头的耐用期限(8000h)更换即可。
  • 由于正负离子及电子平均分布于空间內,因此除电对象物的残留电位可定为0V
  • 由于光直接离子化,因此,在大气压下, N2Ar等不活性瓦斯中也可除电。
  • 由于是光照射之离子系统,因此,完全不发尘,电磁杂讯(noise)也几乎无发生。
  • 依高能量光使得空气中的氧气分子也加速离子化,因此,几乎沒有产生臭氧(ozone)
  • 构成本系统的机器,仅有软X线管头及电力装置2,在制造装置.搬运上易安裝。

除电原理:

 

 

除电性能和距离的关系:

产品外观图:

产品规格:

型号

ISXH-224

除电方式

X射线照射方式

尺寸

38×75×100mmW×H×D

光源

X线管

消费电力

100VA

冷却方式

自然空冷却式

材质

机体:铝钢板/磨砂    放射口:

质量

0.4kg

产品用途:

l   电子设备的制造、组装工程。

l   照相机、钟表、精密机械零件的制造、组装工程。

l   食品、化妆品容器等的加工、填充工程。

l   纸张、薄膜(film)、薄板(sheet)类的卷、裁切工程。

l   成型机內的除电。

l   防止附着于Parts feeder等振动制品。

l   防止软片.感光材料之static mark

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